Montage Hybrider Mikrosysteme

Das Buch beschreibt die Technologien rund um die Montage hybrider Mikrosysteme. Nicht der Entwurf oder das Mikrosystem als solches stehen im Vordergrund, sondern die Fertigungstechnologien zu ihrer Beherrschung. Neben den reinen Fügeverfahren werden die Handhabung sowie die Prozessüberwachung und -steuerung, die Sensorentwicklung und -integration und die zu verwendenden Werkstoffe behandelt. Ziel des Buches ist eine umfassende Dokumentation neuer Montage- und Fügetechnologien für hybrid aufgebaute, nicht für monolithische Mikrosysteme. Es dient dem Wissenschaftler ebenso wie dem Anwender als unterstützendes Werkzeug für die Auswahl des aus technologischer Sicht prädestinierten Verfahrens für hybride Mikrosysteme.